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Al质量分数对磁控溅射Ti1-xAlxN薄膜结构和摩擦学性能的影响

张世玺 蔡海潮 薛玉君 畅为航 田昌龄

河南科技大学学报（自然科学版）2021，Vol.42Issue(4)：1-6,6.
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河南科技大学学报（自然科学版）2021，Vol.42Issue(4)：1-6,6.DOI:10.15926/j.cnki.issn1672-6871.2021.04.001

Al质量分数对磁控溅射Ti1-xAlxN薄膜结构和摩擦学性能的影响

张世玺 1蔡海潮 1薛玉君 1畅为航 2田昌龄1

作者信息

  • 1. 河南科技大学 机电工程学院,河南 洛阳 471003
  • 2. 河南科技大学 河南省机械设计及传动系统重点实验室,河南 洛阳 471003
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摘要

关键词

Al质量分数/磁控溅射/Ti1-x Alx N薄膜/摩擦学性能

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

张世玺,蔡海潮,薛玉君,畅为航,田昌龄..Al质量分数对磁控溅射Ti1-xAlxN薄膜结构和摩擦学性能的影响[J].河南科技大学学报（自然科学版）,2021,42(4):1-6,6.

基金项目

国家国防基础科研计划基金项目(JCKY2018419C101) （JCKY2018419C101）

河南省科技攻关项目(202102210073) （202102210073）

河南科技大学学报（自然科学版）

OA北大核心CSTPCD

1672-6871

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