强激光与粒子束2021，Vol.33Issue(4)：7-14,8.DOI:10.11884/HPLPB202133.200243
微腔内气体抽离的多尺度模拟与分析
Multi-scale simulation and analysis of gas evacuation processes in a microcavity
摘要
关键词
抽气/充气/微管/自由分子流/数值模拟分类
数理科学引用本文复制引用
李海洋,张占文,易勇,毕鹏,栾旭,史瑞廷..微腔内气体抽离的多尺度模拟与分析[J].强激光与粒子束,2021,33(4):7-14,8.基金项目
环境友好能源材料国家重点实验室自主课题资助项目(20fksy04) （20fksy04）
四川省重点研发计划项目(2019YFG0432) （2019YFG0432）
