物理学报2021，Vol.70Issue(9)：14-32,19.DOI:10.7498/aps.70.20202233
非热等离子体材料表面处理及功能化研究进展
Recent progress of non-thermal plasma material surface treatment and functionalization
摘要
关键词
等离子体/表面处理/接枝/聚合/沉积/刻蚀引用本文复制引用
张海宝,陈强..非热等离子体材料表面处理及功能化研究进展[J].物理学报,2021,70(9):14-32,19.基金项目
国家自然科学基金(批准号:11505013,11875090)、北京市自然科学基金(批准号:1192008)、北京市委组织部优秀人才青年拔尖项目(批准号:2016000026833ZK12)和北京市教委科技项目(批准号:KM202010015003)资助的课题. （批准号:11505013,11875090）
