物理学报2021，Vol.70Issue(9)：33-49,17.DOI:10.7498/aps.70.20202247
低气压感性耦合等离子体源模拟研究进展
Numerical investigation of low pressure inductively coupled plasma sources: A review
摘要
关键词
感性耦合等离子体/整体模型/流体力学模型/混合模型/偏压鞘层模型/粒子模拟引用本文复制引用
张钰如,高飞,王友年..低气压感性耦合等离子体源模拟研究进展[J].物理学报,2021,70(9):33-49,17.基金项目
国家自然科学基金(批准号:11875101,11935005)、辽宁省自然科学基金(批准号:2020-MS-114)和中央高校基本科研业务费专项资金(批准号:DUT20LAB201,DUT21LAB110)资助的课题. （批准号:11875101,11935005）
