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容性耦合等离子体中电子加热过程及放电参数控制

王丽 温德奇 田崇彪 宋远红 王友年

物理学报2021，Vol.70Issue(9)：80-98,19.
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物理学报2021，Vol.70Issue(9)：80-98,19.DOI:10.7498/aps.70.20210473

容性耦合等离子体中电子加热过程及放电参数控制

Electron heating dynamics and plasma parameters control in capacitively coupled plasma

王丽 1温德奇 2田崇彪 3宋远红 1王友年1

作者信息

  • 1. 大连理工大学物理学院, 大连 116024
  • 2. 德国波鸿鲁尔大学电子工程与信息科学学院, 波鸿 D-44780
  • 3. 美国密歇根州立大学电子与计算机工程学院, 东兰辛 48823
  • 折叠

摘要

关键词

容性耦合等离子体/电子加热机制/电子动力学/模拟方法和实验诊断

引用本文复制引用

王丽,温德奇,田崇彪,宋远红,王友年..容性耦合等离子体中电子加热过程及放电参数控制[J].物理学报,2021,70(9):80-98,19.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:12020101005,11975067)和国家留学基金管理委员会(批准号:201906060024)资助的课题. （批准号:12020101005,11975067）

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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