物理学报2021，Vol.70Issue(9)：282-292,11.DOI:10.7498/aps.70.20201610
大功率热平衡感应耦合等离子体数值模拟及实验研究
Numerical simulation and experimental study of high-power thermal equilibrium inductively coupled plasma
摘要
关键词
感应耦合等离子体/数值模拟/实验研究/放电现象引用本文复制引用
牛越,包为民,李小平,刘彦明,刘东林..大功率热平衡感应耦合等离子体数值模拟及实验研究[J].物理学报,2021,70(9):282-292,11.基金项目
国家自然科学基金(批准号:61627901)资助的课题. （批准号:61627901）
