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直拉硅单晶的机械强度:锗和氮共掺杂的效应

孙玉鑫吴德凡赵统兰武杨德仁马向阳

物理学报2021，Vol.70Issue(9)：331-338,8.

物理学报2021，Vol.70Issue(9)：331-338,8.DOI:10.7498/aps.70.20201803

Mechanical strength of Czochralski silicon crystal: Effects of co-doping germanium and nitrogen

孙玉鑫 ¹吴德凡 ¹赵统 ¹兰武 ¹杨德仁 ¹马向阳¹

作者信息

直拉硅单晶/机械强度/位错滑移/共掺杂/锗/氮

孙玉鑫,吴德凡,赵统,兰武,杨德仁,马向阳..直拉硅单晶的机械强度:锗和氮共掺杂的效应[J].物理学报,2021,70(9):331-338,8.

国家自然科学基金(批准号:61674126,51532007,61721005)资助的课题. （批准号:61674126,51532007,61721005）

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

ISSN：1000-3290

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