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铌酸锂单晶薄膜材料

李青云 朱厚彬 张洪湖 张秀全 胡卉

人工晶体学报2021，Vol.50Issue(4)：716-723,8.
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人工晶体学报2021，Vol.50Issue(4)：716-723,8.

铌酸锂单晶薄膜材料

Single-Crystal Lithium Niobate Thin Films

李青云 1朱厚彬 1张洪湖 1张秀全 2胡卉1

作者信息

  • 1. 山东大学物理学院,济南 250100
  • 2. 山东大学,激光与红外系统集成技术教育部重点实验室,青岛 266000
  • 折叠

摘要

关键词

铌酸锂/薄膜/离子注入/直接键合/化学机械抛光

分类

数理科学

引用本文复制引用

李青云,朱厚彬,张洪湖,张秀全,胡卉..铌酸锂单晶薄膜材料[J].人工晶体学报,2021,50(4):716-723,8.

基金项目

国家重点研发计划(2018YFB2201700,2019YFA0705000) （2018YFB2201700,2019YFA0705000）

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

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