表面技术2021,Vol.50Issue(5):192-197,6.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2021.05.021
晶面及液体环境对氧化镓研磨过程摩擦学特性的影响研究
Study on the Influence of Crystal Surface and Liquid Environment on the Tribological Properties of Gallium Oxide During Lapping
摘要
关键词
氧化镓晶体/晶面/研磨/自支撑金刚石厚膜/摩擦系数分类
机械制造引用本文复制引用
冯伟,周海,黄传锦,徐晓明,徐彤彤,夏斯伟,赵雪雅,卢文壮..晶面及液体环境对氧化镓研磨过程摩擦学特性的影响研究[J].表面技术,2021,50(5):192-197,6.基金项目
国家自然科学基金(51675457) (51675457)
江苏省精密与微细制造技术重点实验室开放基金项目资助 ()
江苏省高校优秀科技创新团队(2017_33) (2017_33)