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磁控溅射NiCrAlY/MoS2复合薄膜结构与性能研究

卢金德 刘敏 韦春贝 林松盛 张佳平 李浩宇 李助军 刘怡飞 代明江 李风

表面技术2021，Vol.50Issue(5)：198-207,10.
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表面技术2021，Vol.50Issue(5)：198-207,10.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2021.05.022

磁控溅射NiCrAlY/MoS2复合薄膜结构与性能研究

Structure and Properties of NiCrAlY/MoS2 Composite Films Fabricated by Magnetron Sputtering

卢金德 1刘敏 2韦春贝 2林松盛 2张佳平 2李浩宇 3李助军 3刘怡飞 4代明江 4李风2

作者信息

  • 1. 广东工业大学 材料与能源学院,广州 510006
  • 2. 广东省科学院新材料研究所 现代材料表面工程技术国家工程实验室 广东省现代表面工程技术重点实验室,广州 510650
  • 3. 中国航发沈阳黎明航空发动机有限责任公司,沈阳110043
  • 4. 广州铁路职业技术学院 机电工程学院,广州 510430
  • 折叠

摘要

关键词

磁控溅射/NiCrAlY/MoS2复合薄膜/摩擦学性能/高温氧化

分类

机械制造

引用本文复制引用

卢金德,刘敏,韦春贝,林松盛,张佳平,李浩宇,李助军,刘怡飞,代明江,李风..磁控溅射NiCrAlY/MoS2复合薄膜结构与性能研究[J].表面技术,2021,50(5):198-207,10.

基金项目

广东特支计划资助(2019BT02C629) （2019BT02C629）

中国航发创新基金项目(ZGHF-ZL-2017-C068) （ZGHF-ZL-2017-C068）

广东省自然科学基金研究团队项目(2016A030312015) （2016A030312015）

表面技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-3660

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