四川大学学报（自然科学版）2021，Vol.58Issue(2)：155-162,8.DOI:10.19907/j.0490-6756.2021.024006
基于中压微波氩等离子体的鞘层时空特性研究
Spatiotemporal characteristics of sheath of microwave argon plasma at intermediate pressure
摘要
关键词
微波等离子体/时空特性/鞘层厚度/微波电场/压强分类
数理科学引用本文复制引用
黄润,申庆浩,华伟..基于中压微波氩等离子体的鞘层时空特性研究[J].四川大学学报（自然科学版）,2021,58(2):155-162,8.基金项目
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