红外技术2021,Vol.43Issue(5):473-477,5.
基于透射光谱的类金刚石膜光学参数反演
Calculation of Optical Parameters of Diamond-like Carbon Film Based on Transmission Spectrum
王贵全 1王乔方 2字正华 2张锦荣 3邵毅 1郑万祥 2唐莹娟 2胡中 2姜兴平 1李彦生 1李伟2
作者信息
- 1. 昆明北方红外技术股份有限公司,云南昆明 650217
- 2. 昆明物理研究所,云南昆明 650223
- 3. 中国人民解放军32228部队,福建厦门 361000
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摘要
关键词
类金刚石薄膜/透射光谱/薄膜厚度/折射率/消光系数分类
化学化工引用本文复制引用
王贵全,王乔方,字正华,张锦荣,邵毅,郑万祥,唐莹娟,胡中,姜兴平,李彦生,李伟..基于透射光谱的类金刚石膜光学参数反演[J].红外技术,2021,43(5):473-477,5.