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基于透射光谱的类金刚石膜光学参数反演

王贵全 王乔方 字正华 张锦荣 邵毅 郑万祥 唐莹娟 胡中 姜兴平 李彦生 李伟

红外技术2021,Vol.43Issue(5):473-477,5.
红外技术2021,Vol.43Issue(5):473-477,5.

基于透射光谱的类金刚石膜光学参数反演

Calculation of Optical Parameters of Diamond-like Carbon Film Based on Transmission Spectrum

王贵全 1王乔方 2字正华 2张锦荣 3邵毅 1郑万祥 2唐莹娟 2胡中 2姜兴平 1李彦生 1李伟2

作者信息

  • 1. 昆明北方红外技术股份有限公司,云南昆明 650217
  • 2. 昆明物理研究所,云南昆明 650223
  • 3. 中国人民解放军32228部队,福建厦门 361000
  • 折叠

摘要

关键词

类金刚石薄膜/透射光谱/薄膜厚度/折射率/消光系数

分类

化学化工

引用本文复制引用

王贵全,王乔方,字正华,张锦荣,邵毅,郑万祥,唐莹娟,胡中,姜兴平,李彦生,李伟..基于透射光谱的类金刚石膜光学参数反演[J].红外技术,2021,43(5):473-477,5.

红外技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-8891

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