金刚石与磨料磨具工程2021，Vol.41Issue(2)：39-45,7.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2021.2.0007
低功率MPCVD制备金刚石薄膜
Preparation of diamond films by low power MPCVD
朱海丰 1王艳坤 2丁文明 2梁林达1
作者信息
- 1. 中国石油大学(华东)理学院,山东青岛266580
- 2. 中国石油大学(华东)材料科学与工程学院,山东青岛266580
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摘要
关键词
微波等离子体/化学气相沉积/金刚石薄膜/低功率分类
化学化工引用本文复制引用
朱海丰,王艳坤,丁文明,梁林达..低功率MPCVD制备金刚石薄膜[J].金刚石与磨料磨具工程,2021,41(2):39-45,7.
