金刚石与磨料磨具工程2021，Vol.41Issue(2)：82-88,7.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2021.2.0014
钇铝石榴石晶体化学机械抛光液成分优化研究
Optimization of CMP solution for yttrium aluminum garnet crystal
摘要
关键词
钇铝石榴石(YAG)/正交试验/化学机械抛光/材料去除机理/化学反应分类
矿业与冶金引用本文复制引用
张自力,金洙吉,慕卿,杨辉鹏,韩晓龙..钇铝石榴石晶体化学机械抛光液成分优化研究[J].金刚石与磨料磨具工程,2021,41(2):82-88,7.基金项目
国家重点研发计划(2016YFB1102205) （2016YFB1102205）
国家自然科学基金面上项目(51775084). （51775084）
