金刚石与磨料磨具工程2021，Vol.41Issue(2)：89-95,7.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2021.2.0015
基于响应曲面法的304不锈钢化学机械抛光工艺参数优化
Prediction and optimization of process parameters in chemical mechanical polishing for 304 stainless steel based on response surface methodology
摘要
关键词
响应曲面法/304不锈钢/化学机械抛光/工艺参数/材料去除率分类
矿业与冶金引用本文复制引用
刘海旭,武庆东,曹潇俊,祁婉婷,苏建修..基于响应曲面法的304不锈钢化学机械抛光工艺参数优化[J].金刚石与磨料磨具工程,2021,41(2):89-95,7.基金项目
国家自然科学基金项目(U1804142) （U1804142）
河南省科技攻关项目(182102210303、192102210058). （182102210303、192102210058）
