中国光学2021，Vol.14Issue(3)：643-651,9.DOI:10.37188/CO.2020-0179
利用反射式圆光栅的振镜转角测量
Rotational angle measurement of galvanometer using reflective circular grating
摘要
关键词
角度测量/反射式圆光栅/振镜转角/衍射光干涉分类
数理科学引用本文复制引用
刘永坤,丁红昌,向阳,吕思航..利用反射式圆光栅的振镜转角测量[J].中国光学,2021,14(3):643-651,9.基金项目
国家重点研发计划重大科学仪器设备开发(No.2017YFF0105304) （No.2017YFF0105304）
吉林省科技发展计划重点研发项目(No.20200401117GX) （No.20200401117GX）
