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InGaAs/GaAsP应变补偿多量子阱MOCVD生长

王旭 王海珠 张彬 王曲惠 范杰 邹永刚 马晓辉

发光学报2021,Vol.42Issue(4):448-454,7.
发光学报2021,Vol.42Issue(4):448-454,7.DOI:10.37188/CJL.20200379

InGaAs/GaAsP应变补偿多量子阱MOCVD生长

Growth of InGaAs/GaAsP Strain-compensated Multiple Quantum Wells via MOCVD Technology

王旭 1王海珠 1张彬 1王曲惠 1范杰 1邹永刚 1马晓辉1

作者信息

  • 1. 长春理工大学 高功率半导体激光国家重点实验室,吉林 长春 130022
  • 折叠

摘要

关键词

金属有机化学气相沉积/InGaAs/GaAsP/应变补偿/多量子阱/晶格失配

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王旭,王海珠,张彬,王曲惠,范杰,邹永刚,马晓辉..InGaAs/GaAsP应变补偿多量子阱MOCVD生长[J].发光学报,2021,42(4):448-454,7.

基金项目

吉林省科技发展计划(20190302052GX)资助项目 (20190302052GX)

发光学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-7032

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