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高温热处理a面AlN表面形貌演变机理

隋佳恩 黎大兵 孙晓娟 贲建伟 臧行 蒋科 张山丽 郭冰亮 陈洋 石芝铭 贾玉萍

发光学报2021，Vol.42Issue(6)：810-817,8.
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发光学报2021，Vol.42Issue(6)：810-817,8.DOI:10.37188/CJL.20210111

高温热处理a面AlN表面形貌演变机理

Mechanism of a-AlN Surface Morphology Evolution by High Temperature Annealing

隋佳恩 1黎大兵 2孙晓娟 1贲建伟 2臧行 1蒋科 2张山丽 1郭冰亮 2陈洋 1石芝铭 2贾玉萍1

作者信息

  • 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发光学及应用国家重点实验室,吉林 长春 130033
  • 2. 中国科学院大学 材料科学与光电工程中心,北京 100049
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摘要

关键词

a-AlN/高温热处理/表面形貌演变/结合能

分类

数理科学

引用本文复制引用

隋佳恩,黎大兵,孙晓娟,贲建伟,臧行,蒋科,张山丽,郭冰亮,陈洋,石芝铭,贾玉萍..高温热处理a面AlN表面形貌演变机理[J].发光学报,2021,42(6):810-817,8.

基金项目

国家自然科学基金(61922078,61874118,62004127)资助项目 （61922078,61874118,62004127）

发光学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-7032

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