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石英玻璃的等离子体抛光技术研究现状

屈睿 李朝将 孙元成 张晓强 金鑫 李绍良 左镇

飞控与探测2021，Vol.4Issue(1)：22-35,14.
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飞控与探测2021，Vol.4Issue(1)：22-35,14.

石英玻璃的等离子体抛光技术研究现状

Research Status of Plasma Polishing Technology for Quartz Glass

屈睿 1李朝将 1孙元成 2张晓强 2金鑫 1李绍良 3左镇1

作者信息

  • 1. 北京理工大学 机械与车辆学院·北京·100081
  • 2. 中国建筑材料科学研究总院有限公司·北京·100024
  • 3. 上海航天控制技术研究所 上海惯性工程技术研究中心·上海·201109
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摘要

关键词

石英玻璃/等离子体抛光/离子束抛光/亚表面损伤/残余应力

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

屈睿,李朝将,孙元成,张晓强,金鑫,李绍良,左镇..石英玻璃的等离子体抛光技术研究现状[J].飞控与探测,2021,4(1):22-35,14.

基金项目

上海航天科技创新基金项目(SAST2020-061) （SAST2020-061）

飞控与探测

2096-5974

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