飞控与探测2021，Vol.4Issue(1)：98-105,8.
硅微半球陀螺结构与制造方法及其接口电路设计
Structure and Manufacturing Method of Silicon Micro Hemispherical Gyroscope and Interface Circuit Design
摘要
关键词
硅微半球/球形电极/自对准/数字控制/数字仪器/微机电陀螺仪分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
侯佳坤,王雨晨,陈博,凤瑞,李崇..硅微半球陀螺结构与制造方法及其接口电路设计[J].飞控与探测,2021,4(1):98-105,8.基金项目
中央高校基本科研业务费关键核心技术类(201962012) （201962012）
中国博士后科学基金面上项目(2020M672145) （2020M672145）
