光学精密工程2021，Vol.29Issue(4)：656-664,9.DOI:10.37188/OPE.20212904.0656
双波长干涉显微镜波长的双约束标定
Wavelength calibration with dual constraints for dual-wavelength interference microscope
摘要
关键词
精密测量/干涉显微镜/双波长干涉/波长标定分类
机械制造引用本文复制引用
刘乾,黄小津,李璐璐,张辉..双波长干涉显微镜波长的双约束标定[J].光学精密工程,2021,29(4):656-664,9.基金项目
科学挑战计划项目(No.TZ2018006-0205) （No.TZ2018006-0205）
中国工程物理研究院院长基金资助项目(No.YZJJ-LX2017007) （No.YZJJ-LX2017007）
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助项目(No.ZM18009) （No.ZM18009）
