人工晶体学报2021，Vol.50Issue(5)：858-865,8.
基底加热温度对ITO薄膜的性能影响研究
Effects of the Substrate Heating Temperature on Properties of ITO Films
摘要
关键词
基底温度/ITO透明导电薄膜/载流子浓度/光电特性/功函数分类
数理科学引用本文复制引用
王欣月,张兆诚,黎智杰,何婉婷,温锦秀,罗坚义,唐秀凤,王忆..基底加热温度对ITO薄膜的性能影响研究[J].人工晶体学报,2021,50(5):858-865,8.基金项目
国家自然科学基金(51802229) （51802229）
广东省自然科学基金(2018A030313561) （2018A030313561）
2020年广东大学生科技创新培养专项资金(pdjh2020b0609) （pdjh2020b0609）
