物理学报2021，Vol.70Issue(11)：226-235,10.DOI:10.7498/aps.70.20202113
射频容性耦合Ar/O2等离子体的轴向诊断
Axial diagnosis of radio-frequency capacitively coupled Ar/O2 plasma
摘要
关键词
激光诱导解离技术/朗缪尔探针/电负性等离子体/电负度引用本文复制引用
操礼阳,马晓萍,邓丽丽,卢曼婷,辛煜..射频容性耦合Ar/O2等离子体的轴向诊断[J].物理学报,2021,70(11):226-235,10.基金项目
国家自然科学基金(批准号:11675117,11175127)和江苏省高等院校优势学科建设(PAPD)资助的课题. （批准号:11675117,11175127）
