现代电子技术2021，Vol.44Issue(12)：35-38,4.DOI:10.16652/j.issn.1004⁃373x.2021.12.008
一种高精度宽量程MEMS组合加速度计设计与优化
Design and optimization of a high?precision wide?range MEMS combined accelerometer
摘要
关键词
加速度计/车载MEMS/芯片稳定性/转换器精度/温度偏移/测量精度/对照实验分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
徐向阳,张伟..一种高精度宽量程MEMS组合加速度计设计与优化[J].现代电子技术,2021,44(12):35-38,4.基金项目
北京市教育委员会科技计划重点项目:基于微机械摆的旋转飞行器姿态稳定敏感技术研究(KZ201711232030) （KZ201711232030）
北京市传感器重点实验室开放课题基金资助项目(2019XXX) （2019XXX）
