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飞秒脉冲激光空间光场调控的微透镜阵列制备技术进展

樊华 曹小文 李臻赜 王熠 王磊 徐颖

液晶与显示2021，Vol.36Issue(6)：827-840,14.
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液晶与显示2021，Vol.36Issue(6)：827-840,14.DOI:10.37188/CJLCD.2020-0334

飞秒脉冲激光空间光场调控的微透镜阵列制备技术进展

Progress in femtosecond laser fabrication of microlens array with spatial light modulators

樊华 1曹小文 2李臻赜 3王熠 1王磊 3徐颖3

作者信息

  • 1. 清华大学 精密仪器系,北京 100083
  • 2. 中国科学院 宁波材料技术与工程研究所,浙江 宁波 315201
  • 3. 吉林大学 电子科学与工程学院,吉林 长春 130012
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摘要

关键词

飞秒激光/湿法刻蚀/空间光场调制/微透镜阵列

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

樊华,曹小文,李臻赜,王熠,王磊,徐颖..飞秒脉冲激光空间光场调控的微透镜阵列制备技术进展[J].液晶与显示,2021,36(6):827-840,14.

基金项目

国家自然科学基金(No.61590930,No.61805100,No.61827826) （No.61590930,No.61805100,No.61827826）

液晶与显示

OA北大核心CSCDCSTPCD

1007-2780

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