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工艺参数对硫化锌薄膜光学性能和结晶特性的影响

李坤熊玉卿王虎何延春王兰喜周超周晖

表面技术2021，Vol.50Issue(6)：184-192,9.

表面技术2021，Vol.50Issue(6)：184-192,9.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2021.06.019

Effects of Process Parameters on Optical Properties and Crystallization Characteristics of Zinc Sulfide Films

李坤 ¹熊玉卿 ¹王虎 ¹何延春 ¹王兰喜 ¹周超 ¹周晖¹

作者信息

电子束蒸发/硫化锌/薄膜/偏压/温度/折射率/结晶

数理科学

李坤,熊玉卿,王虎,何延春,王兰喜,周超,周晖..工艺参数对硫化锌薄膜光学性能和结晶特性的影响[J].表面技术,2021,50(6):184-192,9.

装备预研重点实验室基金项目(6142207190407) （6142207190407）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1001-3660

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