表面技术2021，Vol.50Issue(6)：199-205,7.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2021.06.021
Al2O3/MgO复合膜层对微通道板性能的影响
Effect of Al2O3/MgO Composite Layer on the Properties of Microchannel Plate
张正君 1邱祥彪 1乔芳建 1丛晓庆 1李婧雯 1任玲 1王鹏飞1
作者信息
- 1. 北方夜视技术股份有限公司,南京 211106
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摘要
关键词
微通道板(MCP)/氧化镁/氧化铝/封装/复合膜层/原子层沉积(ALD)/高增益/长寿命分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张正君,邱祥彪,乔芳建,丛晓庆,李婧雯,任玲,王鹏飞..Al2O3/MgO复合膜层对微通道板性能的影响[J].表面技术,2021,50(6):199-205,7.
