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氮化物应力膜SOI SiGe异质结双极晶体管的频率特性研究

刘培培文剑豪魏进希王冠宇周春宇

重庆理工大学学报（自然科学版）2021，Vol.35Issue(5)：163-169,7.

重庆理工大学学报（自然科学版）2021，Vol.35Issue(5)：163-169,7.DOI:10.3969/j.issn.1674-8425(z).2021.05.022

Research on Frequency Characteristics of SOI SiGe Heterojunction Bipolar Transistor with Nitride Stress Film

刘培培 ¹文剑豪 ¹魏进希 ¹王冠宇 ¹周春宇²

作者信息

单轴应变/SOI SiGe HBT/埋氧化层厚度/频率特性

信息技术与安全科学

刘培培,文剑豪,魏进希,王冠宇,周春宇..氮化物应力膜SOI SiGe异质结双极晶体管的频率特性研究[J].重庆理工大学学报（自然科学版）,2021,35(5):163-169,7.

国家自然科学基金项目(61704147) （61704147）

河北省教育厅科学基金项目(QN2017150) （QN2017150）

OA北大核心CSTPCD

ISSN：1674-8425

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