MEMS平面线圈电镀制备方法研究

赵越芳何剑丑修建

中北大学学报（自然科学版）2021，Vol.42Issue(3)：282-288,7.

中北大学学报（自然科学版）2021，Vol.42Issue(3)：282-288,7.DOI:10.3969/j.issn.1673-3193.2021.03.014

Electroplating Fabrication of MEMS Planar Coil

赵越芳 ¹何剑 ¹丑修建¹

作者信息

微机电系统/电镀/双层线圈/电磁能量采集器/可控制备

信息技术与安全科学

赵越芳,何剑,丑修建..MEMS平面线圈电镀制备方法研究[J].中北大学学报（自然科学版）,2021,42(3):282-288,7.

国家自然科学基金资助项目(51675493,51675493) （51675493,51675493）

ISSN：1673-3193

访问量0

下载量0

段落导航