无机材料学报2021，Vol.36Issue(6)：570-578,9.DOI:10.15541/jim20200361
多晶硅表面金属催化化学腐蚀法制绒研究现状
Texturing Technology on Multicrystalline Silicon Wafer by Metal-catalyzed Chemical Etching: a Review
摘要
关键词
金刚线切割/多晶硅/金属催化化学腐蚀法/制绒/综述分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
武晓玮,李佳艳..多晶硅表面金属催化化学腐蚀法制绒研究现状[J].无机材料学报,2021,36(6):570-578,9.基金项目
国家自然科学基金(51574057) （51574057）
