无机材料学报2021，Vol.36Issue(6)：608-614,7.DOI:10.15541/jim20200509
电催化金属辅助化学刻蚀法制备硅纳米线/多孔硅复合结构
Preparation of Silicon Nanowires and Porous Silicon Composite Structure by Electrocatalytic Metal Assisted Chemical Etching
摘要
关键词
电化学/金属辅助化学刻蚀法/硅纳米线/多孔硅/场发射分类
化学化工引用本文复制引用
陈力驰,王耀功,王文江,麻晓琴,杨静远,张小宁..电催化金属辅助化学刻蚀法制备硅纳米线/多孔硅复合结构[J].无机材料学报,2021,36(6):608-614,7.基金项目
国家自然科学基金(51807156,61771382) （51807156,61771382）
陕西省国际合作计划项目(2018KW-034) （2018KW-034）
陕西省博士后基金(2018BSHYDZZ22) （2018BSHYDZZ22）
