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应用于MEMS基频率源的CMOS温度传感器

黄继伟 陈星 王科平

福州大学学报(自然科学版)2021,Vol.49Issue(4):451-457,7.
福州大学学报(自然科学版)2021,Vol.49Issue(4):451-457,7.DOI:10.7631/issn.1000-2243.20466

应用于MEMS基频率源的CMOS温度传感器

A CMOS temperature sensor for MEMS-based frequency source

黄继伟 1陈星 1王科平2

作者信息

  • 1. 福州大学物理与信息工程学院,福建 福州 350108
  • 2. 天津大学微电子学院,天津 300072
  • 折叠

摘要

关键词

CMOS温度传感器/动态匹配/缩放式模数转换器

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

黄继伟,陈星,王科平..应用于MEMS基频率源的CMOS温度传感器[J].福州大学学报(自然科学版),2021,49(4):451-457,7.

基金项目

国家自然科学基金面上资助项目(61774035) (61774035)

福建省自然科学基金资助项目(2020J01467) (2020J01467)

福州大学学报(自然科学版)

OA北大核心CSTPCD

1000-2243

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