硅酸盐学报2021，Vol.49Issue(6)：1151-1156,6.DOI:10.14062/j.issn.0454-5648.20200608
热处理V膜制备VO2薄膜的结构和光电性能
Structure and Optical–Electric Properties of VO2 Films Prepared by Annealing V Films
摘要
关键词
二氧化钒薄膜/磁控溅射/真空退火/半导体‒金属相变分类
物理学引用本文复制引用
袁文辉,刘保顺..热处理V膜制备VO2薄膜的结构和光电性能[J].硅酸盐学报,2021,49(6):1151-1156,6.基金项目
国家重点研发计划政府间国际科技创新合作重点专项(2017YFE0192600) （2017YFE0192600）
国家自然科学基金面上项目(51772230). （51772230）
