机电工程技术2021，Vol.50Issue(4)：151-152,165,3.DOI:10.3969/j.issn.1009-9492.2021.04.039
真空溅射镀膜机中工作气体对镀件色差的影响
The Influence of the Working Gas in the Vacuum Sputtering Coater on the Chromatic Aberration of the Plating Articles
摘要
关键词
真空溅射镀膜机/工作气体/色差分类
矿业与冶金引用本文复制引用
曾志锋,阮毅,谢泽兵..真空溅射镀膜机中工作气体对镀件色差的影响[J].机电工程技术,2021,50(4):151-152,165,3.基金项目
国家重点研发计划资助(编号:2018YFB1404200) （编号:2018YFB1404200）
