控制理论与应用2021，Vol.38Issue(6)：784-794,11.DOI:10.7641/CTA.2021.00603
具有清洗工艺的单臂组合设备终止暂态调度
Scheduling of close-down process for single-arm cluster tools with chamber cleaning operations
摘要
关键词
晶圆制造/组合设备/Petri网/清洗工艺/终止暂态引用本文复制引用
潘春荣,郭文有..具有清洗工艺的单臂组合设备终止暂态调度[J].控制理论与应用,2021,38(6):784-794,11.基金项目
国家自然科学基金项目(51665018)资助. （51665018）
