自动化与信息工程2021，Vol.42Issue(3)：35-39,5.DOI:10.3969/j.issn.1674-2605.2021.03.007
电容薄膜真空计用金属膜片电容传感器设计
Design of Metal Diaphragm Capacitance Sensor for Capacitive Diaphragm Vacuum Gauge
摘要
关键词
电容薄膜真空计/感应膜片/预应力/初始极距分类
通用工业技术引用本文复制引用
侯少毅,胡强,卫红,陈浩..电容薄膜真空计用金属膜片电容传感器设计[J].自动化与信息工程,2021,42(3):35-39,5.
