光学精密工程2021,Vol.29Issue(6):1356-1364,9.DOI:10.37188/OPE.20212906.1356
具有"前进-前进"运动模式的惯性压电驱动器
Piezoelectric inertial actuator with"forward-forward" motion mode
摘要
关键词
惯性驱动器/非对称夹持/无回退/反接/细胞操作分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
胡意立,胡影,李建平,温建明,兰虎..具有"前进-前进"运动模式的惯性压电驱动器[J].光学精密工程,2021,29(6):1356-1364,9.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.51507154) (No.51507154)
浙江省自然科学基金资助项目(No.LY19E050010,No.LQ21E050013) (No.LY19E050010,No.LQ21E050013)
浙江省重点研发设计项目(No.2021C01181) (No.2021C01181)
浙江师范大学2021年度实验技术开发项目(No.SJ202120) (No.SJ202120)