表面技术2021，Vol.50Issue(7)：172-178,202,8.DOI:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2021.07.017
铝诱导法制备多晶硅薄膜的膜层间结合力影响机制
Binding Force Influencing Mechanism of Polysilicon Film Prepared by Aluminum Induction
摘要
关键词
多晶硅/铝诱导/膜层结合力/第一性原理计算/吸附点位/态密度分类
矿业与冶金引用本文复制引用
段永利,臧浩天,邓文宇,齐丽君,杜广煜,谢元华,刘坤..铝诱导法制备多晶硅薄膜的膜层间结合力影响机制[J].表面技术,2021,50(7):172-178,202,8.基金项目
2019年辽宁省科技重大专项项目(2019JH1/10100016) （2019JH1/10100016）
2019年度沈阳市高层次人才创新创业团队项目(2019-SYRCCX-D-01) （2019-SYRCCX-D-01）
辽宁省"兴辽英才"计划资助项目(XLYC1807072) （XLYC1807072）
