传感技术学报2021，Vol.34Issue(2)：162-167,6.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2021.02.004
基于MEMS电容式加速度计的闭环读出电路设计
Design of Closed-Loop Readout Circuit Based on MEMS Capacitive Accelerometer
摘要
关键词
微加速度计/仿真模型/数学建模/不对称梳齿/圆片级封装分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
徐娇,张玉龙,杨中宝,吴次南,刘泽文..基于MEMS电容式加速度计的闭环读出电路设计[J].传感技术学报,2021,34(2):162-167,6.基金项目
国家级重点研发计划项目(2018YFB2002800) （2018YFB2002800）
