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基于直流辉光放电等离子体的气体压力传感器

李帆 罗海云 杜娟 聂超群

电工技术学报2021，Vol.36Issue(15)：3163-3171,9.
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电工技术学报2021，Vol.36Issue(15)：3163-3171,9.DOI:10.19595/j.cnki.1000-6753.tces.201611

基于直流辉光放电等离子体的气体压力传感器

Pressure Sensor Based on Direct Current Discharge Plasma

李帆 1罗海云 2杜娟 3聂超群4

作者信息

  • 1. 中国科学院轻型动力创新研究院 北京 100190
  • 2. 中国科学院先进能源动力重点实验室(工程热物理研究所) 北京 100190
  • 3. 中国科学院工程热物理研究所先进燃气轮机实验室 北京 100190
  • 4. 清华大学电机系气体放电与等离子体实验室 北京 100084
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摘要

关键词

辉光放电/等离子体/压力传感器/响应特征

分类

航空航天

引用本文复制引用

李帆,罗海云,杜娟,聂超群..基于直流辉光放电等离子体的气体压力传感器[J].电工技术学报,2021,36(15):3163-3171,9.

基金项目

国家自然科学基金(51806222,51727810)和中国科学院仪器研制项目(YJKYYQ20170054)资助. （51806222,51727810）

电工技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-6753

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