电子器件2021，Vol.44Issue(2)：507-512,6.DOI:10.3969/j.issn.1005-9490.2021.02.045
利用正交实验制备金刚石薄膜及其场发射的研究
The Field Emission of Diamond Films Prepared by Orthogonal Experiment
摘要
关键词
微波等离子体化学气相沉积/正交实验/微米金刚石薄膜分类
通用工业技术引用本文复制引用
高金海,张洁,李成刚,张兵临,崔颖琦..利用正交实验制备金刚石薄膜及其场发射的研究[J].电子器件,2021,44(2):507-512,6.基金项目
教育部科学技术重点项目(205091) （205091）
河南省高等学校重点科研项目(16A140039) （16A140039）
河南省科技厅科技攻关项目(182102210140) （182102210140）
