测试技术学报2021，Vol.35Issue(4)：340-344,5.DOI:10.3969/j.issn.1671-7449.2021.04.012
基于LTCC的新型高灵敏度陶瓷压力传感器的研制
Development of a Novel LTCC-Based Ceramic Pressure Sensor with High Sensitivity
刘红雨1
作者信息
- 1. 中国电子科技集团公司第二研究所,山西 太原 030024
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摘要
关键词
4J33铁-镍-钴合金/LTCC技术/陶瓷压力传感器/MEMS器件分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘红雨..基于LTCC的新型高灵敏度陶瓷压力传感器的研制[J].测试技术学报,2021,35(4):340-344,5.
