强激光与粒子束2021，Vol.33Issue(7)：43-48,6.DOI:10.11884/HPLPB202133.200341
等离子体结合六甲基二硅胺烷处理提升增透膜抗真空污染性能研究
Plasma combined with hexamethyldisilazane treatment to improve anti-vacuum pollution performance of antireflective coatings
董祥 1吕海兵 2严鸿维 2黎波 2向霞 1蒋晓东1
作者信息
- 1. 电子科技大学 物理学院,成都 610054
- 2. 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心,四川 绵阳 621900
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摘要
关键词
SiO2增透膜/等离子体处理/六甲基二硅胺烷/抗真空有机污染分类
数理科学引用本文复制引用
董祥,吕海兵,严鸿维,黎波,向霞,蒋晓东..等离子体结合六甲基二硅胺烷处理提升增透膜抗真空污染性能研究[J].强激光与粒子束,2021,33(7):43-48,6.
