|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|人工晶体学报|6英寸低位错锗单晶生长热场设计

6英寸低位错锗单晶生长热场设计

陈晨 赵堃 韩焕鹏

人工晶体学报2021，Vol.50Issue(6)：979-986,8.
✕
人工晶体学报2021，Vol.50Issue(6)：979-986,8.

6英寸低位错锗单晶生长热场设计

Design of Thermal Field for 6-Inch Low Dislocation Germanium Single Crystal Growth

陈晨 1赵堃 1韩焕鹏1

作者信息

  • 1. 中国电子科技集团公司第四十六研究所,天津 300220
  • 折叠

摘要

关键词

锗/单晶生长/热场/加热器/温度梯度/位错密度

分类

数理科学

引用本文复制引用

陈晨,赵堃,韩焕鹏..6英寸低位错锗单晶生长热场设计[J].人工晶体学报,2021,50(6):979-986,8.

基金项目

国家技术基础科研项目(1905XX000) （1905XX000）

人工晶体学报

OA北大核心CSTPCD

1000-985X

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文