人工晶体学报2021，Vol.50Issue(6)：987-995,9.
热屏下降式单晶炉设计与研究
Design and Research on Descended Heat Shield of the Single Crystal Furnace
摘要
关键词
单晶炉/单晶硅/热屏改造/升降装置/高效热场/热场模拟/流场模拟分类
数理科学引用本文复制引用
张西亚,高德东,王珊,彭鑫,林光伟,高俊伟..热屏下降式单晶炉设计与研究[J].人工晶体学报,2021,50(6):987-995,9.基金项目
青海省科技厅重点研发与转化计划项目(2019-HZ-822) （2019-HZ-822）
工业和信息化部2018年绿色制造系统集成项目(130) （130）
