人工晶体学报2021，Vol.50Issue(6)：1002-1009,8.
喷淋式MOCVD反应器中AlN的生长速率和化学反应路径的数值模拟研究
Numerical Simulation Study on Growth Rate and Gas Reaction Path of AlN-MOCVD with Close-Coupled Showerhead Reactor
摘要
关键词
MOCVD/AlN/喷淋式反应器/气相反应/数值模拟分类
数理科学引用本文复制引用
万旭,左然..喷淋式MOCVD反应器中AlN的生长速率和化学反应路径的数值模拟研究[J].人工晶体学报,2021,50(6):1002-1009,8.基金项目
国家自然科学基金(61474058) （61474058）
