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增强型AlGaN/GaN MIS-HEMTs器件的质子辐照效应

吕玲 林正兆 郭红霞 潘霄宇 严肖瑶

现代应用物理2021,Vol.12Issue(2):86-92,7.
现代应用物理2021,Vol.12Issue(2):86-92,7.DOI:10.12061/j.issn.2095-6223.2021.020603

增强型AlGaN/GaN MIS-HEMTs器件的质子辐照效应

Effects of Proton Irradiation on Enhancement-Mode AIGaN/GaN MIS-HEMTs

吕玲 1林正兆 2郭红霞 2潘霄宇 1严肖瑶1

作者信息

  • 1. 强脉冲辐射环境模拟与效应国家重点实验室,西安710024
  • 2. 西安电子科技大学微电子学院,西安710071
  • 折叠

摘要

关键词

AlGaN/GaN/增强型/绝缘栅高电子迁移率晶体管/质子辐照/缺陷/界面态

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

吕玲,林正兆,郭红霞,潘霄宇,严肖瑶..增强型AlGaN/GaN MIS-HEMTs器件的质子辐照效应[J].现代应用物理,2021,12(2):86-92,7.

基金项目

强脉冲辐射环境模拟与效应国家重点实验室专项经费资助项目(SKLIPR1711) (SKLIPR1711)

现代应用物理

OACSTPCD

2095-6223

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