新一代信息技术2021，Vol.4Issue(14)：26-31,40,7.DOI:10.3969/j.issn.2096-6091.2021.14.006
高精度谐振式硅微压力传感器的信号采集与误差补偿技术研究
Research on Data Acquisition and Error Compensation of High-precision Silicon Resonant Pressure Sensor
潘敏杰 1王岩 1周国辉1
作者信息
- 1. 嘉兴市纳杰微电子技术有限公司,浙江嘉兴 314000
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摘要
关键词
谐振式/压力传感器/外部中断/输入捕获/样机分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
潘敏杰,王岩,周国辉..高精度谐振式硅微压力传感器的信号采集与误差补偿技术研究[J].新一代信息技术,2021,4(14):26-31,40,7.
