航空材料学报2021，Vol.41Issue(4)：134-140,7.DOI:10.11868/j.issn.1005-5053.2021.000001
退火气氛对ZnO:Al薄膜光学、电学和微结构的影响
Effect of annealing atmosphere on optical, electrical properties and microstructure of ZnO:Al films
摘要
关键词
ZnO:Al薄膜/退火/载流子浓度/禁带宽度分类
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郝常山,彭晶晶,雷沛,钟艳莉,张旋,纪建超,霍钟祺..退火气氛对ZnO:Al薄膜光学、电学和微结构的影响[J].航空材料学报,2021,41(4):134-140,7.基金项目
国家青年自然科学基金项目(51802297) （51802297）
