光学精密工程2021，Vol.29Issue(7)：1589-1597,9.DOI:10.37188/OPE.20212907.1589
精密气浮转台变带宽线性自抗扰控制
Variable bandwidth linear active disturbance rejection control for high-precision air flotation turntable
摘要
关键词
自抗扰控制/气浮转台/变带宽/带宽设计/低速控制分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王福全,郑鑫,周智勇,段黎明..精密气浮转台变带宽线性自抗扰控制[J].光学精密工程,2021,29(7):1589-1597,9.基金项目
国家科学仪器设备开发专项(No. 2013YQ030629) （No. 2013YQ030629）
重庆大学中央高校基本科研业务费专项(No. 2019CDXYGD0028) （No. 2019CDXYGD0028）
